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光固化成形压电陶瓷超声换能器原件

光固化成形压电陶瓷超声换能器原件

供稿人:武向权,连芩   发布日期:2017-03-27
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美国南加州大学生物医学工程学院和Daniel J.Epstein工业系统工程学院合作开发了钛酸钡(BaTiO3)压电陶瓷超声换能器元件。

陶瓷的硬脆特点,难以通过传统加工技术制造形状复杂的结构件,而增材制造却为其开辟了新的途径。压电陶瓷是一种可以将应力转换成电荷的材料,可以用于制造超声成像设备中的关键部件超声换能器。美国南加州大学和Daniel J.Epstein工业系统工程学院的研究人员,利用光固化成形原理制造出钛酸钡陶瓷换能器。他们首先对颗粒直径为100nm 钛酸钡陶瓷进行表面处理(经过表面处理后,陶瓷颗粒更易与树脂均匀混合),然后将颗粒与光固化树脂混合均匀制备成陶瓷浆料。利用面曝光光固化原型(MIP-SL)设备,以图1所示的加工过程,逐层加工出钛酸钡陶瓷换能器元件素坯。

图1 钛酸钡陶瓷换能器元件素坯的面曝光光固化原型加工过程
(a)MIP-SL系统结构示意图;(b)投影机投出的掩膜图形;
(c)换能器三维模型;(d)控制软件界面;(e)制造出的换能器元件

对制造完成后的素坯再进行脱脂和烧结处理后,获得最终的零件。脱脂处理将陶瓷素坯中的有机物去除,烧结处理将使陶瓷素坯致密化。研究人员将素坯首先放在氩气保护气氛中,600摄氏度下维持3小时进行脱脂处理。之后,将脱脂件放入普通马弗炉,1330摄氏度维持4-6小时进行烧结处理。烧结过程中,陶瓷件内部颗粒粘接、晶体尺寸增加、孔隙减小。最终获得的陶瓷超声换能器元件,其致密度为93.7%,密度为5.64g/cm3。研究人员利用该打印超声换能器,以6.28 MHz超声扫描,获得了猪眼的超声结构图像,如图2所示。

图2 通过打印的换能器对猪眼进行6.28-MHz超声扫描
图3 超声扫描图片

文献

  1. Chen Z, Song X, Lei L, et al. 3D printing of piezoelectric element for energy focusing and ultrasonic sensing[J]. Nano Energy, 2016, 27: 78-86.